国家知识产权局信息显示,大连恒坤新材料有限公司申请一项名为“自动化清洗ALD前驱体钢瓶的方法及系统”的专利,公开号CN121295201A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明提供了一种自动化清洗ALD前驱体钢瓶的方法及系统。该方法包括如下步骤:步骤S1、ALD前驱体钢瓶的预清洗:使用有机溶剂对ALD前驱体钢瓶进行预清洗;步骤S2、ALD前驱体钢瓶的深度清洗:步骤S2‑1、有机‑碱体系清洗:使用有机物‑碱‑水混合体系,在超声下进行清洗;步骤S2‑2、酸‑缓蚀剂体系清洗:使用酸‑缓‑水蚀剂混合体系,在超声下进行清洗;步骤S2‑3、螯合剂体系清洗:使用表面活性剂‑螯合剂‑水混合体系,在超声条件下进行清洗;步骤S2‑4、有机‑碱体系二次清洗:使用不同于所述步骤S2‑1的有机物‑碱‑水混合体系,在超声下进行清洗;步骤S3、中和处理:使用酸对ALD前驱体钢瓶进行冲洗,直至pH值在6.0~8.0之间。
天眼查资料显示,大连恒坤新材料有限公司,成立于2018年,位于大连市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,大连恒坤新材料有限公司参与招投标项目11次,专利信息43条,此外企业还拥有行政许可39个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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