北京
国家知识产权局信息显示，深圳市轴心自控技术有限公司申请一项名为“一种低氧环境下冷却晶圆的结构”的专利，公开号CN121310888A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体生产领域，具体公开一种低氧环境下冷却晶圆的结构，冷却组件设有冷却支架、前端冷却组件和顶部冷却组件；冷却支架固定在平台的上表面，冷却支架的上表面的第一安装孔安装顶部冷却组件，冷却支架的支腿上安装前端冷却组件；前端冷却组件与冷却支架的顶部有冷却间隙；前端冷却组件为腔室结构；前端冷却组件包括前端出气板、前端腔和固定件；前端腔的其一侧面为前端出气板、且前端出气板向冷却支架中间部位靠近；前端腔的端部设有进气腔,进气腔设有惰性进气孔；固定件安装在前端腔的端部；前端出气板上分布有前端冷却出气孔；固定件安装在冷却支架的支腿上。
天眼查资料显示，深圳市轴心自控技术有限公司，成立于2008年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7333.3333万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市轴心自控技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目43次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息318条，此外企业还拥有行政许可21个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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