北京
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国家知识产权局信息显示，倍耐克有限公司申请一项名为“基板表面上的稀土金属氧化物膜”的专利，公开号CN121311620A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种在基板的表面上制备稀土金属氧化物膜的方法。该方法包括在反应空间中以任意顺序交替进行以下步骤：a)将沉积表面暴露于氧的醇系前驱物，使得氧的醇系前驱物的至少一部分被吸附到基板的沉积表面上，并且随后用惰性气体吹扫沉积表面1‑180秒的第一时间段；及b)将沉积表面暴露于稀土金属的前驱物，使得稀土金属的前驱物的至少一部分吸附到基板的沉积表面上，并且随后用惰性气体吹扫沉积表面第二时间段。本发明进一步公开了该方法的用途。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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