北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“衬底支撑件”的专利，公开号CN121312320A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，衬底支撑件包括具有上表面的主体和在上表面之上突出的多个支撑构件，其中支撑构件中的一个或多个支撑构件包括由第一材料形成的第一部分和由第二材料形成的第二部分，第二部分被设置在第一部分与主体之间，并且第二材料在与上表面平行的方向上的杨氏模量小于第一材料在与上表面平行的方向上的杨氏模量的10%。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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