20年前,中国刻蚀机之父尹志尧,辞去美国AMAT副总裁的职位,回到了中国,这个决定一度让他成为前东家的“眼中钉”,为此还遭到了起诉,而如今,81岁的他因为新身份再度引发关注。
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说起刻蚀机,中国已跻身国际领先水平,而在中国,称得上刻蚀机龙头企业的,无疑是中微,但让中微有此成就的,则是中微董事长尹志尧。
他在1944年出生,在中国科学技术大学取得学位后,曾先后进入石油化工部、兰州炼油厂以及中科院工作。
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工作了11年尹志尧并没有放弃学习,34岁时又考入北大化学系,经过两年的学习,他又到美国加州大学攻读博士,在1984年取得了物理化学博士学位。
学习好的尹志尧自然是美国各大企业招揽的对象,刚一毕业,他就被英特尔选中,之后又先后加入了泛林半导体和应用材料公司。
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他不止手握86项美国专利,主导研发的彩虹号氧化物刻蚀机,让泛林成了全球最大的刻蚀机制造商之一,后来更是推动了应用材料公司蚀刻机制造水平的整体提升。
说实话,这样一个优秀人才,那个国家拥有就是赚到,应用材料公司为了留下他,一路将他扶持到了副总裁的职位,可尹志尧却在2004年毅然决然的提交了辞职信。
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说起他辞职原因,多少与他的家世有关,他曾外祖父是清末革命党人,祖父是庚子赔款留学生,为了对抗日本经济侵略,积极支持发展本土商业,父亲则是留日回国报效的电化学专家。
有了长辈的言传身教,他自小便有一颗爱国心,2004年,他在一次半导体设备展览上,结识了时任上上海市经委副主任的江上舟。
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了解到,国家需要提升高科技,而重中之重的芯片却还捏在国外人手里,设备更是几乎全靠外购,发展半导体事业可谓是迫在眉睫。
在江上舟动员下,他放弃了美国的百万年薪和优渥生,主动游说麦仕义等15名好友,一起回国创办了中微,当时,美国为了确保他没有携带有关蚀刻机资料回国,还对他进行了搜查。
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经过中微的不断发展,他们公司生产的等离子刻蚀机成了“王牌”,就在他们要打进国际市场时,麻烦找上门了。
他的前两位老东家泛林半导体和应用材料公司,分别以违反专利、泄露商业机密为由,状告尹志尧以及中微,两场官司,来得又急又狠,试图阻止中微向海外扩张。
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但尹志尧却一点不慌,他们的基本指导思想就是学习、借鉴、不copy(复制),在研发过程中,不止运用了最新的科技,还确保每一步设计都是自主创新,这让他们至今未尝败绩。
尹志尧后来提起这些官司,语气里也满是骄傲,这两场拉锯战不仅让中微站稳了脚跟,还打破了“中国造不出高端刻蚀机”的偏见,更让外国无法轻易的靠专利壁垒卡中国脖子。
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随着技术发展,2025年,中微最前沿的刻蚀机精准度已经突破到了0.1纳米,有时甚至能到0.02纳米的水平,远远领先于美国等科技强国。
技术突破带来的,是市场的认可,2025年的前三季度,中微收入达80.63亿元,同比增长百分之46.4,上市公司股东利润有12.11亿元,同比增长了百分之32.66。
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根据中微未来5到10年的规划,他们要将集成电路关键设备领域的覆盖度提升到百分之六十,一举成为国际一流的半导体设备公司。
公司发展的好,最开心的还不是尹志尧,他因为主要做的是学术研究,公司股份只有百分之0.7,因为受到的是社会主义教育,他将股份分给了员工,连司机、看门接待的人都持有公司的股份。
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然而,就在公司高歌猛进之时,尹志尧个人却做出一个令人意外的决定,2026年1月8号,中微突然发出公告,称尹志尧打算减持股份。
据悉,从2026年1月30号到4月29号,他会通过集中竞价的方式减持股份,预计不超过29万股,大约占公司总股比例的千分之0.46。
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截止到2026年1月9号收盘,中微每股报价为336.68元,也就是说尹志尧这次减持将套现约9464万元,按理说,公司发展迅猛,增加持股比例,才能获得更多分红,他到底为何减持呢?
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说起减股的原因,也是令人十分诧异,之前尹志尧在美国时,加入了美国国籍,如今81岁的他,已经重新恢复成了中国国籍,为此,他需要依法办理相关税务,这才打算减持股份。
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其实,这一切早有端倪,2022年中微的年报中,曾标注尹志尧的是美国公民,到了2023年,年报不再提及尹志尧的国籍,在2024年,中微年报已经将尹志尧的国籍改为中国国籍。
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为此,有人疑惑,尹志尧都81岁了,为何还要折腾国籍?了解尹志尧的人都知道,这不过是他“家国情怀”的延续,用他的话说:“华人毕竟是华人,他的根是一样的!”
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如今,81岁的尹志尧仍没停下脚步,依旧忙着研发,对他而言,恢复中国籍或许并不是终点,而是以更纯粹的身份,继续陪着中国半导体走下去。
从60岁弃美回国,到81岁以中国籍身份推动行业进步,尹志尧的故事,从来不是“个人传奇”那么简单。
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他带着团队打破国际垄断,让中国刻蚀机从无到有、从跟跑到并跑,他用了22年时间证明,中国半导体的突围,靠的不是运气,而是“啃硬骨头”的韧劲。
如今,中微的刻蚀机精度能到0.1纳米,而尹志尧那颗“科技报国”的心,比这精度更坚定,或许这就是中国半导体最宝贵的“底气”。
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