2004年，刻蚀机之父尹志尧，弃美回国遭起诉，今81岁终迎来新身份

20年前，中国刻蚀机之父尹志尧，辞去美国AMAT副总裁的职位，回到了中国，这个决定一度让他成为前东家的“眼中钉”，为此还遭到了起诉，而如今，81岁的他因为新身份再度引发关注。

说起刻蚀机，中国已跻身国际领先水平，而在中国，称得上刻蚀机龙头企业的，无疑是中微，但让中微有此成就的，则是中微董事长尹志尧。

他在1944年出生，在中国科学技术大学取得学位后，曾先后进入石油化工部、兰州炼油厂以及中科院工作。

工作了11年尹志尧并没有放弃学习，34岁时又考入北大化学系，经过两年的学习，他又到美国加州大学攻读博士，在1984年取得了物理化学博士学位。

学习好的尹志尧自然是美国各大企业招揽的对象，刚一毕业，他就被英特尔选中，之后又先后加入了泛林半导体和应用材料公司。

他不止手握86项美国专利，主导研发的彩虹号氧化物刻蚀机，让泛林成了全球最大的刻蚀机制造商之一，后来更是推动了应用材料公司蚀刻机制造水平的整体提升。

说实话，这样一个优秀人才，那个国家拥有就是赚到，应用材料公司为了留下他，一路将他扶持到了副总裁的职位，可尹志尧却在2004年毅然决然的提交了辞职信。

说起他辞职原因，多少与他的家世有关，他曾外祖父是清末革命党人，祖父是庚子赔款留学生，为了对抗日本经济侵略，积极支持发展本土商业，父亲则是留日回国报效的电化学专家。

有了长辈的言传身教，他自小便有一颗爱国心，2004年，他在一次半导体设备展览上，结识了时任上上海市经委副主任的江上舟。

了解到，国家需要提升高科技，而重中之重的芯片却还捏在国外人手里，设备更是几乎全靠外购，发展半导体事业可谓是迫在眉睫。

在江上舟动员下，他放弃了美国的百万年薪和优渥生，主动游说麦仕义等15名好友，一起回国创办了中微，当时，美国为了确保他没有携带有关蚀刻机资料回国，还对他进行了搜查。

经过中微的不断发展，他们公司生产的等离子刻蚀机成了“王牌”，就在他们要打进国际市场时，麻烦找上门了。

他的前两位老东家泛林半导体和应用材料公司，分别以违反专利、泄露商业机密为由，状告尹志尧以及中微，两场官司，来得又急又狠，试图阻止中微向海外扩张。

但尹志尧却一点不慌，他们的基本指导思想就是学习、借鉴、不copy（复制），在研发过程中，不止运用了最新的科技，还确保每一步设计都是自主创新，这让他们至今未尝败绩。

尹志尧后来提起这些官司，语气里也满是骄傲，这两场拉锯战不仅让中微站稳了脚跟，还打破了“中国造不出高端刻蚀机”的偏见，更让外国无法轻易的靠专利壁垒卡中国脖子。

随着技术发展，2025年，中微最前沿的刻蚀机精准度已经突破到了0.1纳米，有时甚至能到0.02纳米的水平，远远领先于美国等科技强国。

技术突破带来的，是市场的认可，2025年的前三季度，中微收入达80.63亿元，同比增长百分之46.4，上市公司股东利润有12.11亿元，同比增长了百分之32.66。

根据中微未来5到10年的规划，他们要将集成电路关键设备领域的覆盖度提升到百分之六十，一举成为国际一流的半导体设备公司。

公司发展的好，最开心的还不是尹志尧，他因为主要做的是学术研究，公司股份只有百分之0.7，因为受到的是社会主义教育，他将股份分给了员工，连司机、看门接待的人都持有公司的股份。

然而，就在公司高歌猛进之时，尹志尧个人却做出一个令人意外的决定，2026年1月8号，中微突然发出公告，称尹志尧打算减持股份。

据悉，从2026年1月30号到4月29号，他会通过集中竞价的方式减持股份，预计不超过29万股，大约占公司总股比例的千分之0.46。

截止到2026年1月9号收盘，中微每股报价为336.68元，也就是说尹志尧这次减持将套现约9464万元，按理说，公司发展迅猛，增加持股比例，才能获得更多分红，他到底为何减持呢？

说起减股的原因，也是令人十分诧异，之前尹志尧在美国时，加入了美国国籍，如今81岁的他，已经重新恢复成了中国国籍，为此，他需要依法办理相关税务，这才打算减持股份。

其实，这一切早有端倪，2022年中微的年报中，曾标注尹志尧的是美国公民，到了2023年，年报不再提及尹志尧的国籍，在2024年，中微年报已经将尹志尧的国籍改为中国国籍。

为此，有人疑惑，尹志尧都81岁了，为何还要折腾国籍？了解尹志尧的人都知道，这不过是他“家国情怀”的延续，用他的话说：“华人毕竟是华人，他的根是一样的！”

如今，81岁的尹志尧仍没停下脚步，依旧忙着研发，对他而言，恢复中国籍或许并不是终点，而是以更纯粹的身份，继续陪着中国半导体走下去。

从60岁弃美回国，到81岁以中国籍身份推动行业进步，尹志尧的故事，从来不是“个人传奇”那么简单。

他带着团队打破国际垄断，让中国刻蚀机从无到有、从跟跑到并跑，他用了22年时间证明，中国半导体的突围，靠的不是运气，而是“啃硬骨头”的韧劲。

如今，中微的刻蚀机精度能到0.1纳米，而尹志尧那颗“科技报国”的心，比这精度更坚定，或许这就是中国半导体最宝贵的“底气”。