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回想中国半导体起步那会儿,真是从零开始却干劲十足。五十年代中叶,国家就把这项技术当成头等大事,科研人员埋头苦干,从基础材料入手,第一批晶体管很快就出来了。这些成果直接撑起国防计算需求。光刻机作为核心装备,早早进入视线,大家用国产零件手工调校,1965年终于搞出接触式机器,虽然比美国晚几年,但精度没掉队太多。那时候团队反复实验,积累经验,大家心里都清楚,自力更生才能站稳脚跟。
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七十年代,中国光刻技术已有点底子,但规模小,更新跟不上国外节奏。国外转向更精密的接近式,我们还坚守接触式。1977年开会讨论情报收集和设备优化,参会者散会后立刻行动,启动逆向研究。1985年,分步投影机样机问世,3微米精度追平美国七八年的水平。科研者优化光学系统,测试曝光效果,花了不少工夫。当时ASML刚起步,中国本有机会借集中资源赶超,可惜思路渐渐变了。
八十年代初,中美关系缓和,美国开放部分高科技出口。中国资金吃紧,研发周期长,买现成设备的念头冒出来。光刻机这么复杂的玩意儿,涉及光学机械电子多领域,直接采购确实省心省力。结果不少项目放缓脚步,资金转向引进。像大飞机项目,首飞后没多久就暂停,转向国际合作。半导体领域类似,自主迭代慢下来,国外企业却加速整合供应链,中国差距开始拉开。
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八十年代末,中国引进一批国外光刻机,生产线快速上马,短期产量上去了。但本土研发能力弱了,人才开始分流,有的转行有的出国。产业链自主化进程受阻,早年积累的优势渐渐流失。九十年代,国际形势更紧,《瓦森纳协议》出来,欧美限制中国进口先进设备,只能拿落后货色。ASML这时已垄断高端市场,中国被迫从头摸索,进度自然慢。
那些年,科研人员本该继续钻研,却因政策调整闲置下来。依赖进口看似聪明,其实埋下隐患。一旦国外卡脖子,就手足无措。半导体关乎国家命脉,芯片制造卡在光刻环节,影响多大可想而知。早期中国与世界差距小,就几年光景,后因“造不如买”心态,二十年落后成现实。那些坚持自研的老一辈,估计心里五味杂陈。
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九十年代,技术封锁加剧,中国光刻研发几乎停滞。ASML整合全球资源,推出更先进机型,中国却在实验室纸上谈兵。人才流失严重,产业链断裂,本土企业缺乏市场刺激,没动力深耕。结果高端芯片制造始终受制于人,代工测试成主要角色。早年自力更生那股劲儿,如果没中断,或许局面不一样。
新世纪初,国家意识到问题,启动专项计划,重金投入半导体自研。但起点已落后太多,ASML的EUV技术占高地,中国还停在传统节点。2010年后,国际管制更严,中国加速建自主链条。光刻机滞后,直接制约芯片产业。像华为事件,就暴露痛点。那些年引进设备省了眼前麻烦,却丢了长远根基。
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“造不如买”这四个字,表面省事,实际短视。早期中国光刻跟得上国际,六十年代接触式,八十年代步进式,本有机会并肩。但开放后买办思路抬头,觉得自研费力不讨好。结果技术空窗期长达十几年,人才散了,经验断了。国外封锁时,才醒悟核心技术必须自握。可惜时间不等人,差距拉到二十年。
如今中国光刻自研在追赶,电子束机型已商业化,但整体还需时日。高盛报告指出,国产机停在65纳米,落后ASML二十年。供应链依赖全球,尤其欧美零件,受限严重。想想那些科研者,多少人一生扑在上面,却因决策转折半途而废。半导体事关国防经济,这教训深刻。
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