北京
国家知识产权局信息显示，常州锆芯科技有限公司申请一项名为“真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法”的专利，公开号CN121310969A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法，通过真空吸取方式承载晶圆，气道出口外围设置有环体结构，晶圆通过气道抽真空吸附在环体结构上，环体结构硬度低于陶瓷基体硬度；环体结构与陶瓷基体粘接固定，粘接界面通过胶水自环体结构内侧向外侧流动，从而在环体结构与陶瓷基体间固定的缝隙形成；粘接界面形成后，胶水自环体结构外侧部分溢出。本发明中的粘接界面在固定缝隙间挤压形成，可消除粘接界面的气泡和空隙，强化界面结合力，确保环体结构与陶瓷基体之间形成更紧密、无缺陷的密封层，增强整体结构的可靠性和耐久性；环体结构硬度低于陶瓷基体硬度，可改善晶圆形变而造成的寿命缩短及其他衍生不良。
天眼查资料显示，常州锆芯科技有限公司，成立于2025年，位于常州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，常州锆芯科技有限公司专利信息5条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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