北京
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国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于动态像差校正的系统及方法”的专利，公开号CN121311957A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，一种用于动态像差校正的方法包含运用电子束源产生初级电子束。所述方法包含：运用电子光学柱将所述初级电子束引导到样本；及使用第一维恩滤波器使所述初级电子束偏转到所述电子光学柱的物镜以校正所述初级电子束中的彗形像差模糊。所述方法包含使用所述物镜产生所述初级电子束中的离轴色像差。所述方法包含调整所述维恩滤波器的强度或定向中的一者以校正由所述物镜在所述初级电子束中产生的所述离轴色像差。所述方法包含检测从所述样本发出的一或多个次级电子。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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