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国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司申请一项名为“沉积设备和使用该沉积设备的沉积方法”的专利，公开号CN121272381A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本公开涉及沉积设备和使用该沉积设备的沉积方法。该沉积设备包括：支撑件，被配置以设置在基板的底表面上，以在平面图中与基板的边缘重叠；夹具，被配置以设置在支撑件和基板的边缘上；以及静电卡盘，包括平坦部和多个突起，其中平坦部被配置以设置在基板的顶表面上，并且多个突起从平坦部的边缘突出。夹具的一部分设置在多个突起当中的彼此相邻的突起之间，并且槽被限定在多个突起中的每个的底表面中并被配置以在平面图中与基板的边缘重叠。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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