北京
国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“MEMS硅麦结构及其制备方法”的专利，公开号CN121284464A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种MEMS硅麦结构及其制备方法，在该制备方法中，在衬底上形成牺牲材料层、位于牺牲材料层内的振膜以及位于牺牲材料层上的背极板结构，其中，背极板结构从下至上包括硅基层、支撑层和支撑隔离层，工作区域上方对应的背极板结构包括若干个孔洞；在工作区域中形成暴露出牺牲材料层的第一开口，以获得初始MEMS硅麦结构；通过若干个孔洞与第一开口，采用刻蚀至少去除工作区域上的牺牲材料层，以形成牺牲层、第二开口与第三开口。综上，一方面，由于支撑隔离层能够为支撑层提供支撑，从而提高了MEMS硅麦结构的可靠性；另一方面，由于支撑隔离层能够用于在通过孔洞刻蚀牺牲层的过程中保护支撑层的表面被影响，从而提高了MEMS硅麦结构的性能和稳定性。
天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目45次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息186条，此外企业还拥有行政许可180个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
