马斯克确认：将建2nm晶圆厂！但他想在里面抽雪茄、吃汉堡！

　　1月8日消息，特斯拉和SpaceX CEO埃隆·马斯克近日在接受Moonshots采访时确认，特斯拉将建立自己的2nm晶圆厂。但是他认为，当前芯片制造行业建造洁净室的方式是错误的。

　　马斯克表示：“我敢打赌，特斯拉将会拥有一座2nm晶圆厂，而且我能在晶圆厂里面一边吃芝士汉堡、一边抽雪茄。”

　　当被主持人问及马斯克是否在脑海中构思过特斯拉的制造工厂，以及他是否找到了保护硅晶圆免受汉堡油脂污染的方法时，他回答说，所有晶圆都应该始终处于密封状态。“他们会一直保持晶圆制造整个过程处于隔离状态，这其实是四代晶圆厂的默认设置，晶圆运输时都装在充满氮气的箱子里，保持微正压环境”，马斯克说道。

　　现代晶圆厂是一个大型的、一体化的制造设施，包括超洁净的生产洁净室（用于晶圆加工）；设有真空泵、气体处理和排气系统；用于维护和公用设施的专用工具服务走廊；集中式化学品输送和废物管理基础设施；以及用于行政工作、工程和监控的办公和控制区域。

　　同时，洁净室本质上是晶圆厂建筑内的独立单元，因为它们与晶圆厂外壳的其他部分完全隔离。洁净室的洁净度由ISO 等级标准规定，该标准定义了不同粒径的颗粒每立方米空气中的颗粒数量。例如，ISO 1 级洁净室每立方米空气中最多允许 10 个 ≥0.1 µm 的颗粒和 2 个更大的颗粒；而 ISO 2 级洁净室每立方米空气中最多允许 100 个 ≥0.1 µm 的颗粒和 38 个更大的颗粒。晶圆制造最关键的操作——例如 EUV 或 DUV 光刻曝光或先进的栅极形成——都在 ISO 1 级和 2 级洁净室中进行。相比之下，ISO 3 级洁净室每立方米空气中最多允许 1000 个 ≥0.1 µm 的颗粒，这仍然比典型的晶圆厂环境洁净得多，并且通常用于对洁净度要求不高的操作的先进晶圆厂。

　　显然，当前在光刻等核心环节所需的ISO 1-3级洁净室环境中吸烟或吃汉堡是绝对禁止的，因为这会产生数亿甚至数十亿的微粒。事实上，人类一次呼吸就会产生数百万个微粒以及水分，更不用说细菌或病毒等有机污染物了。因此，即使晶圆和设备隔离措施完美无缺，人类呼吸（更不用说烟雾或食物颗粒）仍然会影响环境，进而影响超灵敏的EUV光刻镜，甚至可能影响晶圆厂的化学工艺。

　　由于污染控制和安全要求，工厂其他区域也禁止饮食和吸烟。理论上，马斯克可以在办公区域吃汉堡、抽雪茄，即使在今天，这也不是不可能。不过，大多数办公楼里本来就禁止吸烟。

　　编辑：芯智讯-浪客剑