国家知识产权局信息显示,上海讯颖电子科技有限公司取得一项名为“一种光刻机光罩放置板的更换机构”的专利,授权公告号CN223770534U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制作技术领域,公开了一种光刻机光罩放置板的更换机构,包括光刻机壳,所述光刻机壳的内壁顶部固定连接有支撑架,所述支撑架的外壁前侧固定连接有投影物镜机构,所述光刻机壳的内壁后侧固定连接有控制机构,所述齿轮二的外壁顶部设置有固定环,所述固定环与所述调节块卡合,所述固定环的外壁顶部固定连接有放置盘,所述光刻机壳的内壁中部固定连接有夹持机构,所述夹持机构用于夹持便捷更换结构。本实用新型中,光刻机壳作为整体框架,提供安装基础与防护,内壁顶部的支撑架连接投影物镜机构,电机带动齿轮一和齿轮二转动,实现水平方向位置调节,以适应不同光罩放置板的更换。
天眼查资料显示,上海讯颖电子科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事道路运输业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海讯颖电子科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息13条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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