在半导体工厂中,晶圆搬运设备需要减震保护,防止振动损伤精密晶圆。空气气浮减震器(Air Floating Shock Absorber)正是关键部件,它利用空气压力吸收冲击。选型时别慌,抓这几个点就行:
看负载重量:根据设备整体重量选,太轻或太重都无效。比如,小型搬运设备用10-50kg负载范围的减震器。
匹配振动频率:设备运行频率是多少Hz?减震器的频率响应要匹配(一般在1-100Hz范围),否则减震效果差。
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环境要适应:无尘室用?选防尘、耐腐蚀型号。温度变化大的地方,考虑材质稳定性(如不锈钢优先)。
尺寸和安装:量好设备空间尺寸,选紧凑型设计,安装孔位要对齐。
品牌和测试:选知名品牌(如SMC或Festo),查认证标志(如ISO标准),并做小规模测试。
简单说,先称重、测频率,再考虑环境和尺寸。不懂就咨询供应商,别乱买!这指南帮你省时省钱,保护设备安全。
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