北京
国家知识产权局信息显示，国电投核力电科（无锡）技术有限公司申请一项名为“一种晶圆方阻测量方法、装置及存储介质”的专利，公开号CN121253908A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆方阻测量方法、装置及存储介质，在空载状态下，测量并存储接收线圈的参考幅度和参考相位，建立参考基准；向激励线圈施加时变电流，产生时变磁场，在晶圆的薄膜中生成涡流；接收信号解耦反演步骤，同步获取对称布置于晶圆上下两侧的上探头和下探头的接收线圈响应信号；对响应信号进行频率、相位选择性放大处理，提取各个探头的测量幅度和测量相位；根据参考幅度、参考相位、测量幅度和测量相位，计算两组探头的阻抗变化量；基于两组探头的阻抗变化量，计算差分信号和值信号；基于预先建立的校准模型，利用差分信号对和值信号进行实时补偿；采用本发明的技术方案实现了对晶圆表面方阻的在线、高精度、无损、快速测量。
天眼查资料显示，国电投核力电科（无锡）技术有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，国电投核力电科（无锡）技术有限公司参与招投标项目144次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可5个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
