国家知识产权局信息显示,上海高笙集成电路设备有限公司取得一项名为“一种等离子尾气处理设备”的专利,授权公告号CN223747302U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种等离子尾气处理设备,包括尾气处理单元、进气单元、冷却降温单元和水洗吸附单元,尾气处理单元包括等离子体发生器和等离子体反应组件,等离子体反应组件形成反应腔,所述反应腔还连通有供应氧气或空气的外部管路;进气单元包括若干周向布置的进气管路;冷却降温单元形成降温腔,所述降温腔向上与反应腔连通;水洗吸附单元,包括涤气塔,涤气塔的进气口与Z形通道的末端连通,涤气塔对流经的尾气进行水洗吸附,且涤气塔设有与外界连通的排气口。本实用新型结构合理、尾气处理效果好、有利于简化结构体积小型化。
天眼查资料显示,上海高笙集成电路设备有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析,上海高笙集成电路设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息139条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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