国家知识产权局信息显示,苏州密卡特诺精密机械有限公司申请一项名为“一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统”的专利,公开号CN121237700A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种用于晶圆生产的贴膜机及晶圆生产系统,涉及晶圆生产技术领域。卷膜自第一膜轴依次延伸至吸附组件的上方,并绕设于吸附组件与第一辊轴之间,使得薄膜层的端部位于第一辊轴的下方,膜纸层继续绕设至第二膜轴上。拉膜组件先拉动薄膜层,然后第一辊轴受控下压,将薄膜层压贴于待贴膜工件的表面,之后拉膜组件松开薄膜层。第一驱动件驱动支架组件沿第一水平方向移动,使第一辊轴在移动过程中将薄膜层贴合于待贴膜工件,同时第二膜轴转动以同步回收膜纸层,可以理解为,在第一辊轴贴膜的过程中是一边贴膜一边撕膜的,相对于完全撕膜后再贴膜的方案,可以避免产生气泡,提高薄膜与工件的贴合质量,避免对后续晶圆生产产生不利影响。
天眼查资料显示,苏州密卡特诺精密机械有限公司,成立于2006年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1250万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州密卡特诺精密机械有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息89条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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