北京
国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法”的专利，公开号CN121232547A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法，涉及光刻机技术领域，包括平台和光源，以及沿光路传播方向依次设置的第一光阑组、反射镜、光束指向测量系统和第二光阑组，光源包括可在光路上切换出光的第一光源和第二光源，反射镜和光束指向测量系统分别设置在平台的第一位移组件和第二位移组件上，光束指向测量系统包括机械件和设置于机械件的镜片，镜片用于连接调节组。先采用第一光源完成光束指向测量系统机械件和镜片的装调及粗定位，降低长时间暴露在第二光源环境对调试人员的伤害；再采用第二光源进行光束指向测量系统镜片的位置验证及微调校准，实现第二光源的光束指向测量系统的离线装调和校准，实现角度校准与位置校准输入解耦。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3948.3968万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息27条，专利信息149条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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