国家知识产权局信息显示,上海鲲游科技有限公司取得一项名为“一种晶圆吸盘”的专利,授权公告号CN223743628U,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆吸盘,包括基座,在基座的表面同心设置一凹陷部,晶圆设置于凹陷部与基座之间的表面轮廓上,在凹陷部与基座之间的表面轮廓上设置至少一个第一吸附部,在基座的凹陷部中设置至少一个第二吸附部;第一吸附部用于吸附晶圆的边缘部;第二吸附部用于提供一定的气体压强以防止所述晶圆形变;通过设置中空的凹陷部来使得晶圆的功能区处于悬空的状态,以防止晶圆在高速旋转过程中产生的吸附压痕,从而影响晶圆表面的光学性能;另一方面,通过控制中空的凹陷部的空气压强,来改善在高速旋转过程中晶圆上下表面的压强差,从而防止其结构形变,避免晶圆翘曲,对此,以改善不同位置的变形问题,防止翘曲的现象。
天眼查资料显示,上海鲲游科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海鲲游科技有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息212条,此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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