京仪装备申请半导体废气处理相关专利，前置脱氧抑氮氧化物，预测寿命换再生脱氧剂

来源：新浪证券-红岸工作室

12月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“半导体工业废气处理方法及系统”的专利。申请公布号为CN121222235A，申请号为CN202511785798.X，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2025年12月1日，发明人于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师赵娜，分类号B01D53/32、B01D53/30、B01D53/46、B01D53/96、B01D53/81、B01D53/86。

专利摘要显示，本申请涉及废气处理技术领域，提供一种半导体工业废气处理方法及系统。所述方法包括：控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理；控制气体浓度检测单元对脱氧后的废气进行氧气浓度检测；在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，控制等离子反应器对脱氧废气进行等离子处理；对脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测，在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对脱氧剂进行更换或再生。本申请利用前置脱氧，从源头抑制氮氧化物生成，利用脱氧剂剩余使用寿命预测，及时更换或再生脱氧剂，具备可持续性、不会影响半导体高精度设备的运转和产品的良率，且无需考虑对氮氧化物进行催化分解的效率以及高热分解的能耗。

京仪装备成立于2016年6月30日，于2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是国内半导体专用设备领域的重要企业，主营温控、废气处理和传片等设备，具备较强技术实力和全产业链优势。

京仪装备主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品有半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter）。所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，概念板块包含半导体设备、中芯国际概念、北京国资。

2025年三季度，京仪装备实现营业收入11.03亿元，在23家同行业公司中排名第12，与第一名北方华创的273.01亿元、第二名中微公司的80.63亿元有较大差距，行业平均数为30.84亿元，中位数为11.03亿元。同期净利润为1.29亿元，同样排名第12，第一名北方华创达49.8亿元，第二名盛美上海为12.66亿元，行业平均数为5.04亿元，中位数为1.29亿元。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基于等离子活化水的NO发明专利公布CN202511785801.82025-12-01CN121222249A2025-12-30于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞2半导体工业废气处理方法及系统发明专利公布CN202511785798.X2025-12-01CN121222235A2025-12-30于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪3一种晶圆储料器发明专利公布CN202511705951.32025-11-20CN121171945A2025-12-19吕忠伟、孙敬雷4一种快速控温方法、温控系统、电子设备及存储介质发明专利公布CN202511657775.02025-11-12CN121143540A2025-12-16芮守祯、于浩、孙硕、李卓昆、董春辉、曹小康、何茂栋5一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关发明专利实质审查的生效、公布CN202511641334.12025-11-11CN121098666A2025-12-09徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰6温控系统及温控方法发明专利公布CN202511350221.62025-09-19CN121115926A2025-12-12郑璐、靳李富、孙硕、胡文达、刘紫阳、芮守祯、董春辉、何茂栋、曹小康7半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利公布CN202511348069.82025-09-19CN121143524A2025-12-16郑璐8温控系统及温控方法发明专利公布CN202511350225.42025-09-19CN121143525A2025-12-16郑璐、董春辉、胡文达、靳李富、刘紫阳、芮守祯、何茂栋、曹小康9半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利公布CN202511348070.02025-09-19CN121165834A2025-12-19郑璐10一种基于液氮控温的半导体温控装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511291304.22025-09-10CN121096845A2025-12-09郑璐、顾晓虎、靳李富、胡文达、刘紫阳、芮守祯、曹小康、董春辉、何茂栋11一种基于半导体的温度控制方法、装置、电子设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511284131.12025-09-09CN121008621A2025-11-25雍明12一种特气预混方法和装置发明专利公布CN202511239632.82025-09-01CN121016535A2025-11-28闫潇13一种夹持工装、焊接工装及辅助生产设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511229662.02025-08-29CN120791303A2025-10-17杨震14温控系统和温控方法发明专利公布CN202511228653.X2025-08-29CN120973123A2025-11-18李文博、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王中伟、王晓波、许海锋、刘洋、张涵、何茂栋、曹小康、芮守祯、董春辉15一种循环液温控系统及方法发明专利公布CN202511225769.82025-08-29CN120973122A2025-11-18蒋培培16温控系统和温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511228662.92025-08-29CN121008629A2025-11-25李文博、曹小康、于浩、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王晓波、王中伟、许海锋、张涵、何茂栋、芮守祯、董春辉17一种基于半导体废气处理设备反应腔外壁及其降温方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511178018.52025-08-21CN120838114A2025-10-28席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤18半导体废气处理设备的反应腔温度控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511178020.22025-08-21CN121089060A2025-12-09席涛涛、杨春涛、乔伟超、杨琪、于贺杰、杨春水、张坤19半导体废气处理设备的热量回收控制方法及装置发明专利公布CN202511178021.72025-08-21CN121162913A2025-12-19席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤20一种废气处理方法和系统发明专利公布CN202511042888.X2025-07-28CN120939721A2025-11-14于贺杰、张坤、闫潇21晶圆校准器基准点校准方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202511027954.62025-07-24CN121112976A2025-12-12吕维迪、廖博轩22晶圆偏移检测方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202511027955.02025-07-24CN121112967A2025-12-12吕维迪23机械手取片方法及电子设备发明专利公布CN202510863330.12025-06-25CN120977940A2025-11-18杨森元、张朝阳、侯君、何冰、邓博雅24一种晶圆传送装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510854310.82025-06-24CN120749066A2025-10-03张朝阳、杨森元、郝瀚25一种低温制冷设备管路的疲劳等效试验方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510817425.X2025-06-18CN120558553A2025-08-29宗国泰、李轩、李伟鹏、刘昭雲、程玉雪、张昱翀、高智雪、谷存帅26废气处理装置及处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510796184.52025-06-13CN120550587A2025-08-29张京华、曹小康27半导体废气处理设备的消除水箱细菌的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510712002.12025-05-29CN120535050A2025-08-26杨春涛、曹小康28一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法发明专利公布CN202510695964.02025-05-28CN120221471B2025-08-29于贺杰、曹小康、张坤、袁鹏华29一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510695964.02025-05-28CN120221471B2025-08-29于贺杰、曹小康、张坤、袁鹏华30一种磁阻电机液体比例阀发明专利实质审查的生效、公布CN202510675622.22025-05-23CN120212279A2025-06-27陈杰、张少华、孙硕、丁金龙31一种可燃废气热量衡算方法、装置、电子设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510668338.22025-05-23CN120198251B2025-08-08于贺杰、曹小康、张昱翀、宁腾飞32反应器及半导体废气处理系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510651836.62025-05-20CN120789881A2025-10-17乔伟超、席涛涛、张昱翀、宁腾飞33一种纯氧燃烧烧嘴装置以及废气处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510545767.02025-04-28CN120351508A2025-07-22杨琪、乔伟超、杨春涛34一种管道加热系统、废气处理设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510516630.22025-04-23CN120194432A2025-06-24王松35一种火焰侦测系统、半导体废气处理设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510515383.42025-04-23CN120431519A2025-08-05王松36废气进气管道的温控装置及废气处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510503056.72025-04-21CN120444547A2025-08-08闫潇37细菌清理设备及其控制方法、半导体废气处理系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510464409.72025-04-14CN120504351A2025-08-19王松38一种循环液电阻率的控制方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510110449.12025-01-23CN119920732A2025-05-02张涵、贾正帅、于浩、冯涛、耿海东、顾晓虎、孙硕、何茂栋、芮守祯、曹小康、董春辉39一种针对半导体温控设备的循环液电阻率调整装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510110442.X2025-01-23CN119943718A2025-05-06贾正帅、张涵、冯涛、鲁元进、顾晓虎、孙硕、何茂栋、芮守祯、曹小康、董春辉40一种废气处理设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510094295.12025-01-21CN119633574A2025-03-18张昱翀41一种晶圆翻转机械手发明专利实质审查的生效、公布CN202510011408.72025-01-03CN119626960A2025-03-14郝瀚42一种末端执行装置、晶圆夹持机械手及晶圆传输装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510011407.22025-01-03CN119626959A2025-03-14郝瀚43一种晶圆盒装载工位可移动的晶圆传输设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411993991.82024-12-31CN119764232A2025-04-04吕维迪44一种晶圆搬运的方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411983935.62024-12-31CN119764231A2025-04-04赵佳强、郝瀚、杨森元45过滤桶、半导体控温设备及换热控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411991158.X2024-12-31CN119819027A2025-04-15何文明、于浩、李文博46一种轨迹规划方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411990657.72024-12-31CN119847063A2025-04-18梁小影47一种晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411990662.82024-12-31CN119905442A2025-04-29王晓尉、吕维迪、杨森元、邓博雅48一种带预冷的自复叠半导体温控系统及其控制方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411972740.12024-12-30CN119687586A2025-03-25郑璐、胡文达、于浩、靳李富、刘紫阳、芮守祯、曹小康、何茂栋、董春辉49一种电加热与燃烧结合式的废气处理方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411973250.32024-12-30CN119713291A2025-03-28张昱翀50一种废气处理的热量动态平衡控制方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411954635.52024-12-27CN119844779A2025-04-18于贺杰、张坤、宁腾飞

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