北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种离子注入热波监控片及重复利用方法”的专利，公开号CN121215535A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种离子注入热波监控片及重复利用方法，包括：提供同批使用的多个监控片；测量各监控片的第一热波前值；当各第一热波前值满足一致性要求时，对多个监控片进行掺杂第一气体元素的第一离子注入，并获取各监控片的第一热波后值；对获取第一热波后值后的多个监控片进行掺杂第二气体元素的第二离子注入并退火，以使测得的各监控片的第二热波前值满足一致性要求；将多个监控片用于再次进行第一离子注入，并获取各监控片的第二热波后值；其中，进行第二离子注入的第二注入剂量大于进行第一离子注入的第一注入剂量。本发明能够提高V型曲线角度校正的准确性和监控片的回收次数，并能提高回收利用效率。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息913条，此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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