广东
案例：12英寸先进制程半导体厂有机废气处理项目
项目背景
该工厂是国内领先的12英寸晶圆制造基地，采用14nm及以下先进制程技术。由于制程中使用了大量有机溶剂和特殊气体，产生的VOCs(挥发性有机物)成分复杂、浓度波动大，传统处理方法难以满足要求。
废气成分及来源
废气主要来自：
光刻区
：异丙醇(IPA)、丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)等光刻胶溶剂
清洗区
：丙酮、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等清洗剂
CVD区
：硅烷类、硼烷类前驱体气体
扩散区
：磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)等掺杂气体
废气总风量约80,000m³/h，VOCs浓度在200-800mg/m³之间波动，含有多种有毒有害成分。
处理工艺流程
针对高风量、低浓度、多组分的废气特点，采用了"沸石转轮浓缩+RTO焚烧"的组合工艺：
预处理段
废气首先经过三级过滤器(初效+中效+高效)去除颗粒物
通过喷淋塔去除水溶性气体成分
经气气换热器预热至40-50℃
沸石转轮浓缩系统
采用疏水性沸石转轮，将大风量废气浓缩10-15倍
处理区风速设计为2.5m/s，确保吸附效率
脱附温度控制在180-200℃之间
RTO(蓄热式热氧化炉)
三室RTO设计，热效率≥95%
燃烧温度维持在800-850℃
停留时间>1秒，确保完全分解
配备余热回收系统，产生低压蒸汽回用
尾气处理系统
急冷塔快速降温至200℃以下
碱洗塔处理酸性气体
湿式电除尘去除细微颗粒
智能化控制系统
基于PLC的全自动控制系统
VOC浓度在线监测与反馈调节
安全联锁保护系统
最终效果
系统运行一年后评估显示：
VOCs总去除率≥99%
非甲烷总烃排放浓度<10mg/m³
二噁英排放浓度<0.1ng-TEQ/m³
年减排VOCs约150吨
热能回收利用率达85%
运行成本比传统活性炭吸附法低40%
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