北京
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种压紧装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121215599A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种压紧装置及半导体工艺设备，压紧装置包括：压紧环组件，设有存液腔；升降机构，与所述压紧环组件可分离地连接；配重机构，与所述存液腔连接，用于向所述存液腔注液，或者使所述存液腔内的液体排出。本申请的压紧装置施加在晶圆上的压紧力是可调节的，可以确保晶圆的翘曲被完全压平，从而可以解决晶圆未压平时出现边缘打火、边缘背面被刻蚀等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1324次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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