国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种压紧装置及半导体工艺设备”的专利,公开号CN121215599A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种压紧装置及半导体工艺设备,压紧装置包括:压紧环组件,设有存液腔;升降机构,与所述压紧环组件可分离地连接;配重机构,与所述存液腔连接,用于向所述存液腔注液,或者使所述存液腔内的液体排出。本申请的压紧装置施加在晶圆上的压紧力是可调节的,可以确保晶圆的翘曲被完全压平,从而可以解决晶圆未压平时出现边缘打火、边缘背面被刻蚀等问题。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1324次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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