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Fab厂PIE工程师常用术语

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半导体不容易,PIE 更不容易。但坚持的人,都很了不起。

1. WAT(Wafer Acceptance Test)

大白话:晶圆流完前段工艺后的“体检报告”,看身体(电性)好不好。WAT 不好,其它都白干。

2. CP(Chip Probe)

大白话:晶圆切片前的“摸底考试”,看每颗芯片能不能上大学。CP 掉得狠,PIE 心会痛。

3. CPK(Process Capability Index)

大白话:制程稳不稳、漂不漂的评分,越大越稳,越小越闹心。CPK 是良率的底气,也是 PIE 的胆气。

4. DOE(Design of Experiment)

大白话:有计划、有组织的实验方案,不是乱试,是搞清楚“啥影响了啥”。会做 DOE 的 PIE,救火时能靠脑子,不靠跪着祈祷。

5. Lot(批次)

大白话:你的“孩子”。每批都代表你的脸面。Lot 是 PIE 的孩子,掉良率比掉钱包还心疼。

6. Flow(制程流程)

大白话:产品怎么在 fab 里“走一圈”的路线图。Flow 不熟,PIE 就像蒙着眼开车。

7. DRC(Design Rule Check)

大白话:检查客户画的图有没有超出工厂能力。设计画错一根线,PIE 得哭到第二天。

8. SPC(Statistical Process Control)

大白话:用统计图盯着制程,防止机台偷偷“发疯”。SPC 是制程的脾气表,曲线抖一下,PIE 就睡不着。

9. OOC(Out of Control)

大白话:制程数据跑偏,失控了,要马上救。OOC 一响,PIE 心慌。

10. OOS(Out of Spec)

大白话:直接超规,已经不是偏了,是犯法了。OOC 是警告,OOS 是判刑。

11. RCA(Root Cause Analysis)

大白话:找事情真正的元凶,不找对,问题永远反复整你。RCA 找不对,下次异常会“加倍奉还”。

12. PC(Process Change)

大白话:任何 recipe、设备、材料的变更,都叫 PC,需要评估风险。PC 没评估好,良率会让你明白什么叫代价。

13. Qual(Qualification)

大白话:认证新产品、新材料、新制程能不能稳定量产。Qual 是能力,过不了就是笑话。

14. Scrap

大白话:报废,真的什么都救不回来了。Scrap 一多,PIE 的 KPI 也“废了”。

15. Inline

大白话:线上制程中的中间量测,不是最终电性,但能帮你提前发现问题。Inline 是风向标,懒得看的人迟早被风暴刮走。

16. PR(Photoresist)光刻胶

大白话:光刻时用的胶,太薄、太厚、没涂匀,都会闹事。光刻胶不听话,后面都得跟着挨打。

17. Overlay

大白话:层与层之间有没有对准,不准就等着变废片。Overlay 差一点,晶圆哭一片。

18. Defect(缺陷)

大白话:wafer 上各种污染、刮伤、颗粒的统称。Defect 是所有良率事故的开场白。

19. PFA(Physical Failure Analysis)

大白话:把芯片拆开、剖开、挖开,看它哪里坏了。PFA 是解剖台,真凶藏在显微镜下。

20. Tape-out / NPI(新产品导入)

大白话:新产品的第一次流片,也是PIE的“大考”。Tape-out 做得好,以后是稳扎稳打;Tape-out 做糟了,后面天天救火。

最后送给所有 PIE 工程师一句话:

“我们盯的是数据,扛的是压力,守的是产品的命。 别人看不见我们的辛苦,但良率永远不会骗我们。”

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