北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“前端机器人调平夹具”的专利，公开号CN121043169A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，提供了一种夹具，用于对准衬底处理系统的双臂机器人的上末端执行器和下末端执行器。夹具配置成容纳下末端执行器，并且使用夹具使上末端执行器与下末端执行器对准。具体地，夹具包括上顶表面和上侧表面，以及通过下侧表面与下底表面分开的下顶表面。上侧表面和下顶表面联接以形成直角。下末端执行器通过与下顶表面和上侧表面联接而与夹具对准。在下末端执行器对准之后，上末端执行器通过与夹具联接而与下末端执行器对准。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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