北京
国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司取得一项名为“夹持机构以及晶圆清洗装置”的专利，授权公告号CN223612410U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种夹持机构以及晶圆清洗装置，夹持机构包括多个用于夹持晶圆的夹持组件，所述夹持组件包括驱动部以及夹持部，所述夹持部设置于支撑台上，驱动部位于夹持部下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；多个所述夹持组件在支撑台的周向上均匀分布，多个夹持组件两两相对设置形成多个夹持组；多个夹持组存在至少两个夹爪摆角范围。采用上述技术方案，克服了现有技术中通过机械手送进晶圆过程中晶圆容易被夹爪顶住的缺陷，对机械手横向行程误差的容忍度显著提高，从而能够更好地适应实际操作中的偏差，确保了夹持过程的顺畅性，提升了作业效率。
天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目77次，专利信息113条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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