国家知识产权局信息显示,通快霍廷格两合公司申请一项名为“用于等离子体处理供应系统和等离子处理系统的用于耦合RF信号的功率合成器”的专利,公开号CN121039777A,申请日期为2024年5月。专利摘要显示,本发明涉及用于耦合RF信号的功率合成器(1),该功率合成器特别地被设计成用于等离子体处理供应系统和等离子处理系统,该功率合成器(1)被设计成用于频率在2MHz至200MHz的范围内特别地在10MHz至50MHz的范围内的预定义的工作频率范围,该功率合成器被设计成用于输出功率≥2kW,优选地输出功率≥4kW,所述功率合成器包括:e)多个输入端(In1至In4),所述多个输入端被设计成用于连接RF功率放大器级(AS1至AS4);f)主输出端(OUT);g)多个耦合元件,所述多个耦合元件特别地呈电感器(L1至L4)的形式,其中,每个耦合元件将一个输入端(In1至In4)连接至主输出端(OUT);h)平衡电路(B),该平衡电路将输入端(In1至In4)彼此连接,该平衡电路具有:iii)能量吸收器,该能量吸收器特别地呈电阻器(R1至R4)的形式,以及平衡线(W1至W4),该平衡线具有固定的特性阻抗以及为。
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作者:情报员
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