国产首台！凌光红外激光诱导电阻变化显微镜（OBIRCH）重磅发布！

本期快讯

凌光红外发布商用激光诱导电阻变化设备（LaserSight系列），完成国产电性失效分析设备Thermal/EMMI/Obirch（TIVA）全系列通车！

OBIRCH是什么？

OBIRCH（Optical Beam Induced Resistance Change，同类技术还有TIVA等），中文常用名激光诱导电阻变化，是除了热发射（Thermal Emission）和光发射（Photon Emission）以外最常用的电性失效分析技术，和EMMI/THERMAL并列为电性失效分析行业三大标准定位手段。

激光诱导电阻变化设备的历史

首台商业化OBIRCH设备（µA***-200）在1997年由日本HA**公司发布。在过去二十多年中，OBIRCH技术和其所对应的设备被个位数的国外厂商垄断，包括：日本HA**公司，美国FE*公司，新加坡S*公司和美国QF*公司。其中日本H公司和美国F公司凭借产品硬实力占据了此设备80%以上的销售份额。可以说激光诱导电阻变化设备是一款典型的卡脖子设备。

今天，凌光红外正式发布 LaserSight系列机型，向客户提供激光诱导电阻变化定位技术和设备，实现了国产激光诱导电阻定位设备从无到有。截止至25年12月，凌光红外已完成多台LaserSight系列销售和交付，设备运转顺利，性能对标进口旗舰设备。

OBIRCH设备外观

OBIRCH设备内部

OBIRCH机台正在工作

其中，LaserSight 100核心参数如下：

LaserSight 100核心参数图

相比InGaAs和Thermo，LaserSight系列适用于： 金属互联引起的缺陷，金属/半导体短路等工作场景，适用于IC，功率器件，光电器件等。

LaserSight的工作流程

LaserSight的工作流程如下

1)激光扫描芯片表面产生局部加热

2)缺陷区域因热传导异常导致电阻变化ΔR

3)通过ΔI=(ΔR/R)I关系检测电流变化

4)影像叠加定位缺陷。

LaserSight的工作流程

秉持着设计一流设备的理念，LaserSight 100在发布前与进口旗舰设备进行了较为全面的性能对比，部分结果如下（图）：

与进口旗舰设备进行了较为全面的性能对比图

可以看到，LaserSight 100在图像质量，微弱热点检测上都具备较强能力。至此，从2022年1月公司成立以来，凌光红外已经完成了Thermal/EMMI/Obirch三大电性失效分析品类基础款的全部研发和商用化交付。在未来，凌光红外将继续努力，不断优化设备和产能，向世界一流设备看齐，为中国电性失效分析贡献自己的力量！

下一个目标

InGaAs/Obirch二合一系列

2026年让我们敬请期待！

参与“InGaAs/Obirch二合一”设备

征名活动！