北京
国家知识产权局信息显示，佛山市博顿光电科技有限公司、中山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“离子束刻蚀方法、装置、真空刻蚀机、计算机设备及介质”的专利，公开号CN121034928A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本申请涉及真空刻蚀技术领域，具体是一种离子束刻蚀方法、装置、真空刻蚀机、计算机设备及介质，所述方法包括：获取样品刻蚀的目标几何形状及加工需求信息，其中，所述加工需求信息包括目标刻蚀深度、入射角范围和均匀性误差信息；根据所述加工需求信息获取目标刻蚀工艺参数；其中，所述目标刻蚀工艺参数包括：目标入射角、目标工作距离和刻蚀均匀性参数；根据所述目标几何形状、目标刻蚀工艺参数及运动控制函数规划离子源和/或样品台的运动轨迹；在扫描刻蚀过程中依据所述运动轨迹控制所述离子源和/或样品台进行运动；该技术方案，可以实现高均匀性刻蚀加工。
天眼查资料显示，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目13次，专利信息111条，此外企业还拥有行政许可11个。
中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息152条，此外企业还拥有行政许可18个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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