北京
国家知识产权局信息显示，航菱微（泰州）科技有限公司申请一项名为“一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置”的专利，公开号CN121017169A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗装置技术领域。包括清洗机外槽体、晶圆清洗玻璃槽、超声清洗槽、超声波装置、底板、罩壳、清洗槽轨道、分流供水装置和除泡匀振装置，本发明通过超纯水作为介质，将超声波振动有效传导至晶圆清洗玻璃槽，带动槽内强酸溶液均匀振动，实现对晶圆的高效清洗。斜向补水在与原液交界处形成高湍流脉动和局部剪切应力，将大气泡剪切成微小气泡，防止气泡聚集，提高液体纯度和超声波清洗效率。旋流连接座和环形旋流片的离心分离作用，使水流中的气泡集中于中心位置，外侧超纯水快速排出，气泡与疏水性多孔膜接触后被高效吸收，显著提高除泡效果。
天眼查资料显示，航菱微（泰州）科技有限公司，成立于2022年，位于泰州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，航菱微（泰州）科技有限公司参与招投标项目10次，专利信息46条，此外企业还拥有行政许可23个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
