匠岭科技新基地扩产，再获龙头晶圆厂复购，AI赋能半导体量测效能飞跃！

近日，半导体量测设备企业上海匠岭科技有限公司向上海某龙头晶圆厂成功交付了复购的TFT70 SuperHiK®️高端薄膜量测设备。值得关注的是，这是该客户在已有合作基础上的再次采购，这一动作，不仅是一次成功的商业交付，更是对匠岭科技持续深耕高端量测领域、以技术硬实力满足顶尖客户需求的有力证明！

此次交付的一大亮点便是AiMET人工智能量测系统的惊艳亮相。

匠岭科技经过长期的研发和积累，深度融合人工智能技术打造了AiMET(AI-Enhanced Metrology)量测系统，这标志着AI智能量测技术在半导体前道制造环节实现了深度应用与关键突破。

TFT70作为匠岭科技在售TFT系列的旗舰机型，采用业内领先的SuperHiK®️量测技术，专门针对栅极超高k材料层（纳米超薄单层膜）、金属互连层(强相关性叠层纳米超薄膜)和超薄介质层等最具挑战的关键膜层提供精准量测，并成功解决了一系列国际性技术难题。

截至目前，TFT70已批量交付多家逻辑和存储客户，并获得复购和量产线批量交付，为半导体前道产业链筑起了供应安全新屏障。

它主要应用于高端逻辑和存储芯片制造的前道工艺控制，对多种关键膜层进行精确监控：

• 栅极超高k材料层：影响晶体管性能和功耗；

• 金属互连层：监控多层金属布线的厚度均匀性和效能一致性；

• 介质层：影响绝缘性能和信号完整性。

而此次交付设备中搭载的AiMET智能量测系统，采用物理化自监督自适应规模神经网络架构，结合高可靠性并行计算，实现了从数据采集到分析的全链路AI赋能：

• 集成数据预处理、降维、分类与预测等机器学习技术；

• 自主研发的AI算法加速推理，单片晶圆分析速度提升20倍以上；

• 一键生成最优化量测方案:由AI智能创建复杂膜层结构的量测Recipe，数倍提升工程效率与量测效能；
  

• 多膜层模型智能构建：实现多种复杂膜层材料、多膜层系数的AI智能构建；
  

• 精度提升：AI智能进化算法显著提高复杂膜厚量测的精准度；
  

• 统一标准：消除操作性差异，实现模型构建和材料系统系数的一致性。

AiMET智能量测系统是匠岭科技与客户联合攻关的定制化平台，已在《第八届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS 2025)》上进行技术报告，这标志着本土企业在高端量测AI领域的关键性技术突破。

匠岭科技通过与客户深度定制化开发AI应用，推动了半导体产业链的智能化发展，为本土晶圆厂提供了自主可控、稳健的高端量测国产替代方案。

据了解，为显著提升整体产能，更好服务域内客户，以及支撑高速增长的业绩，匠岭科技位于浙江桐乡的全新生产基地已在本月15日顺利建成投产。该生产基地总面积达5000平方米，其中3000平方米为高等级无尘生产线与零部件仓储中心。这一规模可观的新基地落成，使匠岭科技对全域客户的交付能力实现数倍提升，成为公司规模化经营发展历程中的又一重要里程碑！

该基地的建设是匠岭科技“上海研发—长三角制造—全球服务”战略布局的关键落子。依托上海临港总部与张江研发中心，匠岭科技能够快速实现“研发 - 工程化 - 量产”的转化流程。

在半导体工艺不断迈向更精微化的大背景下，匠岭科技以“AI-Enhanced Metrology”为技术战略布局，通过扎实的技术积累和紧密的客户合作，正不断夯实其在半导体装备领域的中坚力量，为产业链的安全与升级持续贡献着“智慧”与“实力”，加速产业发展演进升级！

关于匠岭：上海匠岭科技成立于2018年，全球总部位于上海临港，长期持续在“高壁垒”量检测领域技术攻关，致力打造国际化平台型半导体量测设备公司，向全球提供高端工艺监控解决方案。上海匠岭科技已平台化布局半导体前道、先进封装、化合物半导体、新型显示四大战略领域，公司八大产品线及数十款机型已在各领域头部企业的量产线中表现出卓越性能，屡次赢得各领域客户的表彰和嘉奖，并持续为客户提供高价值、创新型的解决方案。

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