光刻机分两种:前道光刻机造芯片,后道光刻机做封测。
大家平时说的“光刻机”通常指前道光刻机,因为后道光刻机技术门槛低,能生产的企业多,不像前道光刻机那么“卡脖子”。
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目前全球能造前道光刻机的企业就四家:荷兰ASML、日本尼康、日本佳能、中国上海微电子(SMEE)。
这四家技术差距可不小——最牛的ASML,能生产EUV光刻机,台积电、三星、英特尔这些大厂造高端芯片全得靠它;其他三家,连EUV的边儿都摸不着。
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先说ASML。它1984年从飞利浦分出来,干了四十多年,现在稳坐光刻机头把交椅。
当年尼康、佳能还是光刻机界“老大哥”时,ASML抓住了浸润式技术机会,直接反超,成了唯一能造EUV光刻机的厂商。现在全球高端芯片制造,EUV设备100%离不开ASML,说它“垄断”先进光刻机市场一点不夸张。
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尼康成立于1917年,百年老牌了。上世纪70年代到90年代,它在光刻机领域可是领跑者,193nm的DUV光刻机技术比ASML还强。但后来没抓住浸润式DUV的机会,被ASML反超。现在尼康能造浸润式DUV光刻机,但技术得跟ASML合作,市场份额少得可怜,EUV更是搞不定。
佳能1937年成立,跟尼康同期,当年也是光刻机巨头。但同样错过了浸润式DUV技术,现在只能造普通DUV光刻机,浸润式和EUV都搞不定,被ASML甩开一大截。
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上海微电子2002年成立,才23年历史,目前能造DUV光刻机,但还没攻克浸润式DUV技术,EUV更是遥远。不过,ASML从成立到垄断市场也才40年,上海微电子起步晚但潜力大,说不定哪天就追上来了。
说到底,全球光刻机产业就这么四家玩家,技术差距却像隔座山。ASML断层式领先,尼康、佳能、上海微电子还在爬坡。但中国厂商起步晚不代表没机会——当年LCD产业不就是从落后到反超的吗?光刻机这事儿,说不定也能复制这个剧本呢。
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