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荷兰正式禁售DUV光刻机,中方别无选择,只能坚定自主制造破局

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当下的科技争端,如果你只看到两个大国的角力,那就把事情想得太简单了,真正的好戏,藏在一台叫做光刻机的设备里。

聊到DUV光刻机,我们得先掰扯清楚它的“出身”,从技术基因上追溯,这台机器是地地道道的“荷兰籍”,跟美国的关系其实不大。



光刻机的核心技术,也就是那束193纳米波长的深紫外光,是阿斯麦(ASML)这家荷兰公司自己摸索出来的。

人家早在2003年就搞出了全球第一台浸没式DUV光刻机,那时候美国还没把手伸那么长,当然ASML的成功也不是闭门造车,它的技术突破也是离不开一个非美国的“朋友圈”。



其中一个关键伙伴就是台积电,这种欧洲技术加上亚洲应用的合作模式,构建了一个相当独立的生态系统。

可以说,DUV技术本身就是一个自给自足的完整体系,它能生产从7纳米到130纳米制程的芯片,这听起来可能不如最新的技术酷炫,但关键是,这个范围覆盖了全球芯片市场超过六成,甚至可能高达九成的需求。



所以从技术源头看,它的主权非常清晰,就是荷兰的,虽然是技术独立,但不代表商业独立。

美国虽然没给DUV技术提供什么,但它硬是给这台机器强加了一个隐形的美国身份,靠的不是别的,就是资本和供应链这两根无形的缰绳,想理解美国的手段,看看更高端的EUV光刻机是怎么被拿下的就一清二楚了。



EUV的开始可以说是美国从一开始就布了局,美国早在1997年就牵头成立了一个叫EUVLLC的联盟,源头是英特尔和一个政府研究项目,这个联盟名义上是搞研发,实际上是设门槛。

ASML是唯一被允许加入的外国公司,但条件极为苛刻:必须在美国建工厂,设研发中心,而当时同样有实力的日本企业,直接被拒之门外。



这种绑定操作的效果立竿见影,ASML在EUV技术上,根本无法独立自主,整台机器高达90%的零部件都需要进口,而协议规定,其中源自美国的部分必须超过55%。

更狠的是资本渗透,截至2020年底,ASML的前三大股东全是美国资本,加起来持股近30%,有了EUV这个“样板工程”,美国回过头来对付DUV就显得游刃有余。



尽管他们没发明DUV,但他们手握ASML的股权,掌控着更高端技术的命脉,这种威慑力足以让荷兰政府在去年9月开始,乖乖听从美国的指令,限制对华出口。

ASML公司自己也陷入了巨大的困境,一边是惹不起的政治压力,一边是中国这个全球最大买家带来的真金白银。



如今在光刻机这个领域已经不只有美国和荷兰了,中国正在用一种全新的方式,为这台DUV光刻机赋予一个“中国身份”,这个身份不是靠收购,也不是靠谈判,而是靠两样东西:无可替代的市场引力和自主制造能力。

中国是全球半导体最大的消费市场,这一点毋庸置疑,但更重要的是,中国市场需求的绝大部分,恰好就是DUV技术能搞定的成熟制程芯片。



从汽车到家电,再到工业设备,这些才是构成我们现代生活的基石,它们都需要大量的14纳米、28纳米芯片,市场的需求直接定义了DUV技术的商业价值和生命周期。

而美国的封锁,彻底激活了中国的求生本能,以前能买的时候,自己造的动力没那么足,现在不卖了,反倒把自主研发的进程按下了快进键。



今年9月,国产的光刻验证机被公开,这已经不是实验室里的样品了,而是已经拉到工厂里,开始真刀真枪地进行批量芯片生产。

上海微电子、中科院这些机构在光源和光学系统这些核心部件上,都取得了肉眼可见的进展,下游的华为海思等设计公司,也早已开始跟国产设备进行适配验证。



很显然,这已经不是单纯地造一台机器了,而是在构建一个包括设计、材料、封装在内的完整产业链。

毕竟市场的变化是最诚实的,就在国产化进程不断传来好消息的同时,数据上也出现了戏剧性的逆转,去年中国在光刻机上的进口量下降了整整40%,而到了今年上半年,国产光刻机的招标采购量,直接增长了三倍。



这种变化ASML的CEO看得最清楚,他曾公开表示过一种深深的忧虑:如果中国真的实现了技术上的自给自足,那么ASML将彻底失去这个市场。

这不是危言耸听,这是商业力量“用脚投票”的必然结果,市场正在通过真实的商业行为,一点点剥离掉附着在这台机器上的荷兰和美国身份。



当然不只是ASML,日本的佳能和德国的蔡司在DUV领域也有技术积累,甚至有消息说,一些欧洲厂商正通过一些非官方的渠道,悄悄地向中国的民间机构提供非禁运型号的设备,这背后的逻辑很简单:生意还是要做的。



参考资料:
《DUV和 EUV 光刻机的区别在哪?》 科创板日报 2021年12月21日
《荷兰还是下手了》 新华网 2024年9月7日

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