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高强洁净氮气保管柜专为存储硅片、晶圆、半导体器件及精密光学元件等高价值敏感物料而设计，采用先进的气流循环与净化技术，实现防氧化、防尘、防静电的三重保护。
高强洁净氮气保管柜
设备运行时，高纯氮气被注入柜内，经顶部FFU（风机过滤单元）驱动，依次通过HEPA或ULPA超高效过滤器，形成由上而下均匀的垂直层流。洁净氮气下行至底部后，通过背部风道回流至FFU，形成持续内循环，确保柜内颗粒物浓度极低。同时，系统维持微正压状态，有效阻隔外部污染空气侵入，保障ISO Class 5（百级）或更高洁净等级。
为消除静电危害，设备可选配高压负离子除电系统。该系统通过负离子发生器释放大量负电荷，在FFU气流带动下均匀扩散至柜内空间，快速中和物料表面及空气中的正电荷，实现全域静电消除，全面保护静电敏感器件。整机协同运作，为精密电子元件提供稳定、洁净、安全的存储环境。
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