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稀土元素(共 17 种,包括镧系元素镧、铈、镨等 15 种,外加钪、钇)
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稀土元素在半导体中的应用概览
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一方面,对于高K介质栅的改性,掺杂稀土元素之后,相对介电系数提升2-6不等,减少漏电流,增加栅极控制能力,晶体管的导通速度进一步提升。
在工艺设备中,比如光学检测、量测、对准相关的Yb元素、Tm元素、Er元素,这是激光发生器的核心掺杂元素。
另外设备中的运控平台(如光刻机的双工件台)需要超高性能永磁体。
加工中,光刻胶光敏剂,增强pattern能力
加工中,前段STI及后段铜用二氧化铈CMP抛光材料是标配的材料。
刻蚀腔体中涂层多为稀土氧化物,以提高耐刻蚀能力。
以CMP抛光用材料CeO2为例:
铈氧化物(CeO₂)是三元催化器(TWC)的关键材料,通过氧存储-释放机制(Ce³⁺/Ce⁴⁺转换)高效净化尾气中的CO、NOx和碳氢化合物
氧化铈(CeO₂)是高性能抛光粉的核心成分,用于光学镜头、半导体晶圆、显示面板(如LCD玻璃)和汽车玻璃的精密抛光
铈化合物用于半导体工艺中的化学机械抛光(CMP)和光刻胶添加剂
氧化铈作为玻璃脱色剂(吸收紫外光)和着色剂(黄色调),用于高端建筑玻璃和防辐射玻璃
中国对全球的稀土供应一直维持稳定,一直维持稳定。实际上,稀土尽管是监控,上了系统,也是维护供应链风向的一种风险,针对川普?
单位:公斤
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只列一下,美国、越南(主要是贸易)
单位:同样为公斤
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全球的芯片、光学、精密设备、医疗设备、航空飞行器都是建立在中国稳定出口稀土的基础上。
分析数据放到数据库,供需要的人下载参考
【ima知识库】宇量信息
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