北京
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天眼查APP显示，近日，湖北鼎龙芯盛科技有限公司,鼎龙（潜江）新材料有限公司,湖北鼎龙控股股份有限公司申请的“一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种含氟树脂粉末以及包含其的光致抗蚀剂组合物。通过低温沉降、控制沉降温度和沉降剂添加比例、沉降步骤方法等得到粉末状的含氟树脂，具有残留单体含量低、溶剂残留量少、储存稳定性更好的优点，在浸没式ArF中，能够在顶层阻挡水对光致抗蚀剂有效组分如PAG、Quencher等的浸出，在性能表征分析和储存稳定性上均有明显提升。
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