多组分动态配气系统，实验室精准配气解决方案

多组分动态配气系统基于质量流量混合法，可实现多种气体组分的高精度、动态混合，广泛应用于环境监测、半导体制造等对标准气体有严格要求的复杂场景，是配制标准气体的关键设备。该系统能够将高浓度瓶装标准气体快速稀释为用户所需的多种浓度标准气体，调节范围宽，可达ppb级别。相较于传统的静态配气方法，动态配气系统具有响应速度快、可连续输出以及浓度实时可调等显著优势。

1、 系统工作原理和核心构成

多组分动态配气系统采用质量流量混合法，其核心在于通过精确控制各组分气体的质量流量，实现目标浓度的精准配制。系统运行过程中，高浓度标准气体与稀释气体（如高纯氮气或纯净空气）分别流经独立气路，由质量流量控制器（MFC）精确调控流量比例，在混合室中充分混合后输出设定浓度的标准气体。

一套完整的系统通常包括以下核心部分：

气路系统：涵盖气体输入接口、调压阀、质量流量控制器及混合室等。气路材料常选用SUS316L不锈钢或聚四氟乙烯，具备良好的耐腐蚀性与低吸附性，内壁光滑，有助于维持气体纯度。

控制系统：集成触摸屏或计算机操作界面，搭配PLC/DCS控制器。现代系统通常支持触摸屏与计算机双模式操作，部分型号还可实现远程监控功能。

安全系统：尤其在处理易燃、易爆或有毒气体时，系统通常配备泄漏检测、强制排风等安全装置，确保操作安全。

2、 主要技术特点与优势

多组分动态配气系统以其高精度、智能化及灵活性，在气体制备领域表现出明显优势：

高精度与稳定性：系统配备高精度质量流量控制器，精度可达±1%FS，流量重复性普遍优于0.2%–0.5%，线性误差不超过±0.3%–0.5%，保证配气结果准确可靠。

智能化操作：系统通常配置高分辨率触摸屏（如1024×768），用户通过界面输入目标浓度后，系统可在十几秒内自动完成配气。部分先进系统内置数十种气体数据库，支持直接调用，简化操作流程。

灵活定制能力：系统支持同时配制多组分标准气体，也可独立配制单组分气体。气路通道数量可根据需求定制（从2路至12路或更多），流量范围也可灵活配置，适应各类特殊应用场景。

安全保障：针对易燃易爆气体，系统采用气路与电气控制分离设计，并在关键区域加装通风装置，防止气体积聚，确保设备与人员安全。

苏州亿科旗下多组分动态配气系统

3、 典型应用

计量检测：用于气体分析仪、报警器、检漏仪等设备的检定、校准与性能测试。

环境监测：配制低浓度标准气体，模拟大气污染物，用于环境监测仪器的校准。

科研教学：高校及科研院所常用于气体相关课题研究、方法开发及气体传感器性能评估。

半导体制造：提供高纯度、精确控制的特种混合气体，满足半导体工艺对气体质量的高要求。

随着各行业对 “精准化、标准化” 要求的提升，选择适配自身需求的动态配气系统，不仅关乎实验数据的可靠性与工艺重复性，更是构建高效、安全、可持续研发与生产体系的重要支撑。未来，随着半导体工艺向3nm及以下制程推进、环境监测对ppb级超低浓度气体标定需求的增长，以及人工智能与数字孪生技术在气体控制领域的融合，系统将进一步向智能化、高集成度、多场景适配方向演进。