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金融界2025年8月25日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于在处理腔室中的加热可调谐性的设备和方法”的专利，公开号CN120530482A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本文的实施例总体上涉及电子器件制造，并且更具体地，涉及用于在热处理腔室中的灯加热的系统和方法。在一个实施例中，一种可调整反射器包括多个反射器元件。所述多个元件中的每一者具有第一表面、第二表面和多个侧壁。所述第一表面是反射表面并且被配置为面向灯。所述可调整反射器包括一个或多个致动机构，所述一个或多个致动机构耦接到所述多个元件。一种热处理基板的方法包括：测量基板在灯和所述可调整反射器下方或上方的区域的热轮廓的热强度，以及响应于所述热强度在期望参数之外，沿中心线路径调整所述反射器组件的所述反射器轮廓。
本文源自：金融界
作者：情报员
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