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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，北京日扬弘创智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统”的专利，公开号CN120527223A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明公开一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统，涉及半导体制造技术领域，方法包括以下步骤：1.在清洗流体流道中生成垂直层流的中温液态水环境；2.通过激光扫描液态水形成立体空化区，生成空化气泡流；3.动态调节激光能量密度分布曲线，控制空化气泡的大小及密度；4.基于清洗阶段定制气泡溃灭能量曲线，分阶段去除不同粒径污染物；5.通过层流溢流排出污染物。清洗装置用于实现上述方法，自动化系统包括上述清洗装置。
天眼查资料显示，北京日扬弘创智能装备有限公司，成立于2009年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，北京日扬弘创智能装备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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