上海
关键词：双氧水
行业：半导体
CT-1Plus电位滴定测定双氧水的浓度
摘要
双氧水在半导体行业中主要用作半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，用于电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，以及半导体材料制造工序的处理等，它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。本例通过电位滴定法测定一种双氧水的浓度。
仪器配置
●CT-1Plus电位滴定仪
●ORP-101C电极
●20mL高精度计量管
●100mL滴定杯
试剂配置
●滴定剂：高锰酸钾标准溶液（1/5KMnO4）
●滴定度：0.1mol/L
●溶剂：纯水/1mol/L硫酸溶液
●其它试剂：硫酸锰
测定方法
●氧化还原滴定/电位滴定
●适量样品于干燥烧杯中，加入50mL 1mol/L硫酸溶液，0.5克硫酸锰，搅拌溶解
●将烧杯置于滴定台上，选择双氧水含量滴定方法，用高锰酸钾标准溶液滴定到终点
仪器参数
● 最小滴定体积：20μL
● 最大滴定体积：100μL
● 搅拌速度：200
● 每滴间隔：1000ms
● 终点模式：微分阈值判定
● 微分设置：200
测试数据
● 环境温度：23℃ ● 环境湿度：50%
● 测试时间：3min
测试结果：经测试，双氧水的浓度约为27.54%。
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