北京
核心挑战
28nm以下制程中，单颗0.1μm（100nm）尘埃即可导致芯片断路/短路，良率暴跌超50%。国际ISO 14644-1标准严控Class 1级洁净室0.1μm粒子浓度（≤10个/m³），而激光粒子计数器是唯一符合ISO 21501-4的检测工具。北京中邦兴业，作为美国lighthouse厂家授权一级核心代理服务商，拥有0.1微米激光尘埃粒子计数器，可为泛半导体工厂提供设备样机免费试用，上门演示实测。
【Lighthouse SOLAIR 1100LD】
01
0.1μm粒子检测的核心价值
应用场景
作用机制
案例效果
晶圆制造关键工艺
光刻/刻蚀/沉积环节实时监控
某厂光刻车间良率提升12%
高端封装过程
切割/键合/塑封环境保障
封装可靠性提升15%+
设备预测性维护
粒子趋势分析预判设备异常
减少停机时间40%
数据价值延伸
- 合规认证：自动生成ISO 14644-1/EU GMP审计报告（通过率100%）
- 智能管理：云端分析污染源，优化洁净室能耗效率
02
Lighthouse SOLAIR 1100LD技术突破性优势
对比传统设备
参数
SOLAIR 1100LD
传统HeNe计数器
激光源
激光二极管（终身免维护）
氦氖激光管（6个月更换）
浓度上限
提高10倍
易超限导致数据失效
适用洁净等级
ISO Class 1-7
仅限Class 5以上
重量
11.7kg（行业最轻）
≥15kg
核心性能
1. 检测能力：0.1μm灵敏度｜28.3 LPM流速｜8通道数据存储
2. 环境扩展：同步监测温/湿/压差/风速四参数
3. 合规认证：ISO 21501-4校准｜21 CFR Part 11电子数据合规
4. 智能互联：以太网/RS-485/USB｜LMS软件管理3000+数据点
03
行业痛点精准解决方案
挑战
SOLAIR 1100LD应对方案
数据准确性偏差
ISO 21501-4校准+闭环真空泵设计
HEPA检漏效率低
ScanAir附件实现毫米级漏点定位
高浓度环境检测失效
激光二极管支持Class 1级超低粒子检测
多设备数据整合困难
单平台管理所有传感器数据
04
操作优化指南
- 采样点规划
- 公式：采样点数 = √洁净室面积(m²)
- 示例：100m²洁净室 → 10个采样点
- 维护周期
- 校准：12个月/次
- 激光器：终身免更换（传统设备需半年更换）
- 数据安全
- AES-256加密传输 + 权限分级管理
技术注释
压缩气体检测需搭配专用扩散器，HEPA检漏通过ScanAir附件实现移动扫描。设备超轻设计（23磅）支持产线快速部署，满足7×24小时连续监控需求。
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