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金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于沉积准金属层的方法和系统”的专利，公开号CN120485739A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本公开涉及用于通过循环沉积过程在衬底上沉积准金属材料的方法和设备。该方法包括：在反应室中提供衬底，以气相将第一前体提供到反应室中；以及以气相将第二前体提供到反应室中，以在衬底上形成准金属材料。第一前体和第二前体中的至少一个包括准金属化合物。
本文源自：金融界
作者：情报员
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