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金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，武汉衡惯科技发展有限公司申请一项名为“MEMS惯性器件结构及制作方法”的专利，公开号CN120483031A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明涉及一种MEMS惯性器件结构及制作方法；包括从上至下依次键合的上盖板、器件层和基底，所述器件层具有敏感刻蚀区域和非敏感区域，所述敏感刻蚀区域经刻蚀形成有惯性器件敏感结构，所述非敏感区域设有划片道，所述划片道上经刻蚀形成有第一刻透区，所述基底上设有多个测试PAD，所述第一刻透区位于多个所述测试PAD的正上方。本发明预先进行第一刻透区的开设，器件层与基底键合后，基底上方的器件层无需划，即可将基底上的测试PAD露出来，避免了划片刀接触到基底金属线风险，提高了MEMS惯性器件制作良率。
天眼查资料显示，武汉衡惯科技发展有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉衡惯科技发展有限公司财产线索方面有商标信息4条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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