北京
金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种基于温度变化和气体浓度差的晶圆盒气密性检测方法”的专利，公开号CN120427187A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明涉及气密性检测技术领域，其公开了一种基于温度变化和气体浓度差的晶圆盒气密性检测方法，本方法通过晶圆盒气密性检测装置实现，晶圆盒气密性检测装置由腔体、腔门、晶圆盒支架组成的密闭腔室；在检测精准度上，通过监测传感器实时监测，利用独特的稳定判断和泄漏分析方法，对比相关参数阈值，能够精准判断气体置换状态和晶圆盒的泄漏情况，有效降低误判率；同时监测温度和氧浓度，避免单一参数造成的误判，检测流程高效，测试准备、气体置换等环节紧密衔接，气体置换时形成的流动可快速置换原有气体，气密性判断依据科学合理；只需控制电磁阀开关并进行传感器数据采集分析，降低了技术门槛，大幅提升检测效率。
天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自金融界
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