金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“光掩模图案检查方法和系统及使用其制造显示装置的方法”的专利,公开号CN120406043A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,公开了光掩模图案检查方法和系统及使用其制造显示装置的方法。该光掩模图案检查方法包括:通过基于光掩模设计数据执行第一曝光模拟来生成第一结果图像数据;通过基于通过拍摄实际光掩模而获得的光学图像数据执行第二曝光模拟来生成第二结果图像数据;以及基于第一结果图像数据和第二结果图像数据来生成用于实际光掩模的检查数据。
本文源自:金融界
作者:情报员
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