山东
鲁网7月28日讯（记者 陈珊珊 通讯员 陈朝）近日，一项由淄博力量主导的团体标准《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》（T/SDTC 010-2025）正式发布，这不仅填补了国内空白，更标志着我国在高端光刻机核心部件领域实现了从技术到标准的双重重大突破。
光刻机被誉为“芯片之母”，其内部陶瓷导轨虽微小，却堪称精密设备的“骨骼”——其精度与稳定性直接决定了高端装备制造的“高度”。过去，这类核心部件长期被美、日企业垄断，成为“卡脖子”的技术壁垒。
为打破这一困局，淄博企业山东硅元新型材料股份有限公司依托深厚工业陶瓷技术积累，自2014年起联合产学研力量，十年如一日潜心攻关。从材料配方到精密成型工艺逐一突破，最终成功开发出性能比肩国际的氧化铝陶瓷导轨系列产品，为国产高端光刻机装上了自研“关节”。
技术突破后，硅元公司马不停蹄牵头制定团体标准，将十年心血凝结为《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》这一技术标尺。标准严格规范了产品技术指标与生产要求，为国产替代提供了清晰可靠的技术依据，让核心技术真正落地生根，转化为产业竞争力。此项标准的实施，将显著提升我国光刻机与芯片制造产业链的整体实力。
该标准发布是全市持续实施团体标准培优计划的重大成果。团体标准是创新成果产业化的重要桥梁。淄博市场监管部门长期致力于培育高水平团体标准，未来将继续深入推动“培优计划”，让“淄博标准”为高质量发展提供坚实支撑。
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责任编辑：刘宗尧
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