芯源微：力争在前道化学清洗赛道实现跨越式发展，打造第二增长极

芯源微(688037)7月17日披露投资者关系活动记录表显示，公司在7月10日至7月16日期间接待了国信证券、国投瑞银基金、光大保德信基金等机构投资者调研。

芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备等。公司在巩固传统优势领域的基础上不断丰富产品布局，目前已形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。

芯源微表示，公司持续聚焦集成电路主战场，以前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装为三大支柱业务，以客户为中心，坚持研发服务于市场主基调，不断提升核心竞争力。同时，在维护好现有客户群体的前提下，积极向中国台湾、韩国、东南亚等地区拓展新的客户群体，进一步扩大业务规模，推动公司实现持续稳健发展。

“公司全新一代涂胶显影机采用六层对称架构，通过晶圆并行传输模组提升调度效率，能够满足未来高端光刻机的产能需求，目前该产品的研发进展顺利。”芯源微介绍，目前公司高温SPM机台已成功通过客户工艺验证，成功打破国外垄断，获得国内客户的高度认可。上半年，公司前道化学清洗产品签单实现快速增长，公司力争在前道化学清洗赛道实现跨越式发展，为公司长期发展打造第二增长极。

在回答“如何看待公司产品与外资同行厂商设备之间的差距”问题时，芯源微表示，公司正视与外资同行业厂商在技术上存在的差距。一方面，公司以客户需求为导向，积极在技术上寻求突破，持续加大研发投入，不断提升产品竞争力，努力缩短与竞品之间的差距；另一方面，公司持续通过降本增效等手段，提升产品综合性价比，不断推进客户端导入及市占率提升。

值得一提的是，北方华创6月24日晚间公告，截至6月23日，北方华创持有芯源微3596.47万股股份，约占芯源微总股本的17.87%，为芯源微第一大股东，且北方华创共提名了4名非独立董事和1名独立董事，在芯源微全部董事和全部非独立董事中均过半数，北方华创已成为芯源微控股股东，并取得对芯源微的控制权。

芯源微表示，在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、快速退火和晶体生长等核心工艺装备，公司的主要产品包括涂胶显影设备等核心工艺装备。双方同属集成电路装备行业，但产品布局有所不同，具有互补性。本次北方华创取得对公司的控制权，有利于双方协同效应的发挥。一方面，双方可以通过合作，推动不同设备的工艺整合，协同为客户提供更完整、高效的集成电路装备解决方案；另一方面，双方可在研发、供应链、客户资源等方面加强协同。