北京
金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市海目芯微电子装备科技有限公司取得一项名为“调平机构及曝光机”的专利，授权公告号CN223108258U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种调平机构及曝光机，涉及光刻机技术领域。调平机构包括在竖直方向上相对设置的掩模板与载台；顶升组件，所述顶升组件在所述载台的底部环设设置有至少三个，所述顶升组件始终具有顶升所述载台的趋势；多个所述顶升组件使得所述载台的四角位置之间可相对升降；固定组件，所述固定组件也设置有多个，所述固定组件与所述顶升组件一一对应设置，所述固定组件与顶升组件连接，所述固定组件用于对所述顶升组件的位置进行固定；其中，所述固定组件用于与曝光机的升降机构连接。调平机构便于对载台进行调平。曝光机包括上述调平机构。
天眼查资料显示，深圳市海目芯微电子装备科技有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2446.714331万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市海目芯微电子装备科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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