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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“处理衬底的方法”的专利，公开号CN120236993A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，公开了一种处理衬底的方法，所述方法包括：衬底处理操作，在衬底上移动安装有处理部件的臂的同时用所述处理部件处理所述衬底，所述臂根据处理方案相对于所述衬底旋转；以及验证操作，在所述衬底处理操作之前验证接收的用于所述衬底处理操作的初始方案，其中所述验证操作包括：检查操作，将所述衬底上的区域划分成多个单元区域，并检查处理时间，在所述处理时间期间，所述多个单元区域中的每一个单元区域由所述处理部件直接处理设定时间；以及确定操作，确定在所述检查操作中检查的所述多个单元区域的每一个单元区域中的所述处理时间是否合适。
本文源自：金融界
作者：情报员
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