北京
金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请一项名为“一种兼容不同频率阻抗匹配器的装置及等离子体刻蚀设备”的专利，公开号CN120236985A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种兼容不同频率阻抗匹配器的装置及等离子体刻蚀设备，包括：射频电源、第一匹配器、第二匹配器、转换结构和反应腔室；所述射频电源与所述第一匹配器的输入端或所述第二匹配器的输入端连接，所述第一匹配器的输出端和所述第二匹配器的输出端通过所述转换结构与所述反应腔室电连接；所述第一匹配器和所述第二匹配器的频率不同；所述转换结构用于切换不同频率的所述第一匹配器和所述第二匹配器，使得所述第一匹配器的输出端与所述反应腔室电连接，或者，所述第二匹配器的输出端与所述反应腔室电连接。本发明可以交替切换不同频率的刻蚀工艺，保证设备的刻蚀效果。
天眼查资料显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司，成立于2011年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡邑文微电子科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目142次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息330条，此外企业还拥有行政许可33个。
江苏邑文微电子科技有限公司，成立于2018年，位于南通市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3333.33万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏邑文微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息182条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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