金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,鼎道智芯(上海)半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆减薄方法以及晶圆减薄系统”的专利,公开号CN120237000A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆减薄方法以及晶圆减薄系统,在对晶圆进行减薄时,在激光诱导下,对晶圆的待减薄表面进行改性处理,使得待减薄表面受激光的照射区域的材料发生改性,将待减薄表面的至少部分区域由第一材料转换为第二材料,对经过改性处理后的待减薄表面进行减薄处理,在相同减薄条件下,第一材料的减薄速率小于第二材料的减薄速率,基于改性后形成的第二材料,降低晶圆待减薄表面的减薄工艺难度,提高晶圆的减薄速率。
天眼查资料显示,鼎道智芯(上海)半导体有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本124000万人民币。通过天眼查大数据分析,鼎道智芯(上海)半导体有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息265条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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